薬液自動供給装置

ミクロン単位のダストも許されない、半導体や液晶の製造過程で使用される薬液を自動供給するための「薬液自動供給装置」は、当社が技術力を結集し、試行錯誤を重ねて開発した装置です。

この装置は、フィルターを通して薬液を清浄化し、シーケンサーによる自動制御で生産システムへ供給するもので、国内だけでなく海外からも注目される技術です。

この装置の製造はダストの混入を防ぐため、クリーンルームで行います。使用される薬液の種類に応じて装置のバリエーションが異なるため、お客様それぞれのニーズに合わせた機種の改良や開発が加えられています。また、薬液のリサイクルなどの開発・製品化もしています。

各種装置の試作も承ります

太洋テクニカでは、試作機の製作から、パイロットプラントまで、自社の製作所内で進めていくため、テスト後その場で修正やご提案が可能です。

これによりコストの削減とスピーディーな対応が実現しています。

小型から大型装置まで量産を承ります

試作の段階からお客様と協力し、ご要望に合わせた試作機を完成させます。その後、ご納得いただける仕様を決定したうえで量産へと進めます。また、ステンレス、アルミ、塩ビなどの加工品の製作も承ります。